清洁度一般指汽车零件、总成及整机等部位被颗粒物污染的程度，用规定的方法从特定的部件采集到颗粒物的质量、大小、形状、数量、材料种类等特征参数来表征。具体采用何种方法及指标对颗粒物进行测试分析，取决于不同颗粒物对部件性能的影响程度及清洁度控制精度要求。

PART 01 ParticleX [电镜法]

生产中的异物颗粒是质量工程的噩梦。Al₂O₃、SiC、SiO₂ 和玻璃等硬质颗粒是最危险的污染物之一，因为它们更容易在表面上产生划痕或卡住移动部件。检测此类颗粒的挑战在于，其中一些具有高透明度或低对比度（与滤膜相比），无法用光学显微镜检测到。

全自动汽车清洁度分析系统 ParticleX，以扫描电镜和能谱仪为硬件基础，可以全自动对颗粒或杂质进行快速识别、分析和分类统计。

早在 ASPEX 时代，它就以开创性的扫描电镜与能谱仪结合技术，打破了传统颗粒检测的效率瓶颈；升级到 Explorer4 后，自动化识别与成分分析能力再上台阶，让微米级杂质无所遁形。而如今的 ParticleX，更是集大成者 —— 全自动流程实现快速识别、分析与分类统计，工程师能清晰观察微米尺寸颗粒，精准确定化学成分，轻松锁定污染源。

从研发到生产，它提供的定量数据快速、准确又可靠，一键导出报告的功能更是省时省力。目前，奔驰、宝马、博泽、三电、三花等国内外知名车企都已投入使用。

Phenom ParticleX 汽车清洁度检测系统（电镜法）可以表征颗粒的形态及化学成分，并对硬质颗粒进行准确识别并详细分类，支持一键导出数据报告。

该过程完全符合 ISO16232 和 VDA19 要求。只需一键，即可自动分析 4 片直径 47mm 的滤膜，无需人员值守，可连续运行，并且一键生成报告，更有效率地监控清洁度。

PART 02  高性价比清洁度快速分析仪

01  行业标准：符合 VDA19 / ISO16232

02 快速简便：2.5 分钟内完成过滤分析并生成报告

03 绝对可靠：10 年内零维修案例

04“零”维护：自行校准，自动生成审计报告

PART 03  环境落尘颗粒实时监控仪 PFS

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5 μm 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。

01 符合 ISO 14644-17 标准

02 可检测低至 0.5 μm 颗粒

03 10 秒完成 2 英寸面积检测

04 适用于真空与常压环境

PART 04  仪器表面颗粒物分析仪 SAS

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪，是一款基于“胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具，可通过间接测量方式识别小至 0.5μm 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225 mm² 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂场景的检测需求。

01 符合 ISO 14644-9 标准

02 可检测低至 0.5 μm 颗粒

03 90% 采集效率 | >90% 重复性

04 10 秒完成检测

05 ASML 也在用！

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