检测程序（手动式检测设备）：

 1: 将清洗剂先用0.45-5µm的滤膜进行过滤。

 2: 彻 底清洗在清洁度检测中用到的设备。

 3: 进行空白试验，检测所用到设备的空白值。

 4: 将所有过滤膜放在80°C的烤箱中烘烤至少30分钟。

 5: 过滤膜在干燥器中冷 却30分钟至室温。

 6: 称重烘干的过滤膜，天平精度为0.1mg（或0.01mg）。

 7: 将5µm过滤膜放在过滤器上。

 8: 用清洗剂高压喷枪全 面清洗待测零部件的表面（推荐压力100 - 200 kPa）。

 9: 收集盘须有足够深 度来收集清洗液。任何能用镊子从零件上取下来的碎屑，必 须放在收集盘中。

 10: 打开真空泵，让收集到的清洗液通过干燥后的5µm的过滤膜进行过滤。

 11: 全 面冲洗收集盘并让冲洗液通过滤膜过滤。

 12: 对漏斗底部的残余污染物进行清洗和过滤。让真空泵额外抽10秒。

 13: 小心的取下过滤膜并放在80°C的烤箱中烘烤30分钟。

 14: 将过滤膜放在干燥器中然后冷 却30分钟至室温。

 15: 重新称重过滤膜并记录重量结果。

 16: 用显微镜测量至 大颗粒度，或统计颗粒数量。