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在分析被测滤膜上的残留物颗粒时，滤膜上金属颗粒的表面局部单个或多个位置呈现反光，普通明场扫描不能准确判断颗粒的大小及数量。
金属颗粒:
偏光扫描完 美解决在明场中单个金属颗粒表面多个位置反光造成的数量统计不准确。
清洁度分析仪使用的光源，其出射光经过线性偏振后再照射到滤膜表面。通过偏振光物理原理应用来识别、对比颗粒在不同偏振光下的图片，而后鉴别出金属和非金属颗粒。
偏光扫描：2次扫描，过程全自动偏光，偏光扫描统计所有颗粒数量及测量尺寸，再明场扫描定性颗粒性质（金属or非金属），减少误判。
明场扫描：1次扫描，一个大金属颗粒被分 解成数个金属颗粒及非金属颗粒，尺寸和颗粒的数量。统计不准确。
介绍了使用徕卡EM TIC 3X三离子束研磨仪对手机触摸屏玻璃进行解剖的实验过程和结果。
Leica DM2700 M LED照明正置材料显微镜。Leica DM2700 M为适用于明场、暗场、微分干涉、偏光以及荧光用途的多功能立式显微系统。
CCM200C普通型清洁度检测系统对清洗过滤后得到的滤有残渣的滤纸，通过显微镜法观察和测定残渣颗粒的大小，与CCM-100C型的清洁度检测系统的差别在CCM-200C型是智能型，可以通过电脑任何控制平台。
徕卡金相显微镜主要用于材料分析，金相组织观察，与同济大学合作的显微镜型号是DM6M为正置式三目镜，配了徕卡品牌DFC450型的500万物理像素摄像头…
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